laboratorio 1200C horno de tubo de una zona CVD sistema
laboratorio 1200C horno de tubo de una zona CVD sistema los CVD sistema consiste en sistema de suministro de gas + horno de tubo + Sistema de vacío , y la temperatura máxima puede alcanzar 1200 grados, 1400 grados, 1600 grados, y 1700 grados. La zona de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura dual, una zona de tres temperaturas, etc. El vacío final puede alcanzar 10-3Pa . El sistema de suministro de gas puede ser másico caudalímetro o flotador caudalímetro para regulación de caudal. El número de canales de mezcla puede ser 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales. parámetros técnicos detallados del horno de tubo tipo 1200-I 1200-II 1200-III 1200-V 1200-VI 1200-VII poder 3.5KW 3.5KW 3.5KW 5KW 6KW 7KW tubo tamaño （DE (mm) dia 60 X1000 Dia80X1000 Dia100X1000 Dia150X1000 Dia200X1000 Dia250X1000 dimensiones 1140X450X690 1140X450X690 1140X450X690 1110X530X755 1120X580X805 1314X680X905 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción alambre de resistencia control de temperatura UAV instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1, 30 etapas programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se corta automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede los 1200 grados o el termopar está quemado, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. Encendido, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico de protección limitada).3, con 485 interfaz de comunicación (estándar cuando compra software) 4, con apagado función de protección, es decir, cuando la energía se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero la temperatura del horno aumenta de el momento de la falla de energía.5, el medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 controlador de temperatura (shimashima, Japón) instrumento europeo de pantalla táctil instrumento material de la cámara 1. Alta calidad alta pureza horno de curado de fibra policristalina de alúmina formado por succión al vacío filtración. 2. formado por tecnología japonesa. 3. El espaciado y el paso de los cables de resistencia en el horno están dispuestos de acuerdo con la mejor tecnología térmica en Japón, y el campo de temperatura es simulado por el software térmico. válvula y brida 60 / 80 / 100 arriba vercalibración de temperatura (opcional) La calibración regular de la temperatura del horno tubular mantiene la precisión y uniformidad de la temperatura del horno. Usted puede comprar una herramienta de calibración simple la empresa para ayudarlo con este trabajo. El kit de calibración completo incluye un calibrador de temperatura de termopar estándar tipo S. precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16ESEMIKRON temperatura máxima 1200 ℃ temperatura nominal 1150 ℃ velocidad de calentamiento ≤30 ℃ / Min (se puede modificar como requerido) tasa recomendada de aumento de temperatura ≤15 ℃ / min tipo de termopar tipo k longitud de calentamiento 400-440 mm longitud de temperatura constante 150 mm curva de campo de temperatura temperatura de la superficie periférica ≤45 ℃ sistema de protección de cubierta abierta Cuando se abre la tapa del horno, el relé cortará automáticamente la fuente de alimentación principal, garantizando de forma eficaz la seguridad del usuario. VS-0.1 sistema de vacío (VRD16) El sistema (puede bombear el vacío en el horno tubular a 0,6 Pa) consta de una brida de succión (de fabricación propia) con KF25 interfaz, método de deflector de alto vacío, indicador de vacío de resistencia, fuelles, soporte (hecho en casa), bomba de vacío conecte el tubo en T en la salida de la brida, conecte el silicio de resistencia a un extremo del tubo de tres vías, conecte la válvula de charnela de alto vacío a el otro extremo, conecte la válvula de charnela y la bomba de vacío con el corrugado de Dia25, y utilice el KF25 pinza rápida para el puerto de conexión. . 1. sistema de detección de presión ZDR-I / ZDR-I-LED tipo vacuómetro de resistencia simple El medidor de vacío de resistencia (también conocido como el medidor de vacío Pirani) utiliza un ZJ-52T medidor de resistencia y aplica un nuevo modo de funcionamiento a temperatura constante a la potencia constante. al mismo tiempo, el microprocesador se utiliza para controlar la no linealidad del reglamento. procesamiento lineal. tiene las características de rendimiento estable, amplio rango de medición, respuesta rápida y pequeña desviación. Y potente y fiable basado en microprocesador control de relé, salida de comunicación en serie, salida analógica de vacío y otras funciones. especialmente adecuado para la medición y el control de vacío aproximado y bajo de aplicaciones de vacío. 2. técnico Parámetros: * distribución regulación: ZJ-52T medidor de resistencia * medición rango: 10 5 ～ 10 -1 Pensilvania * número de medidas: 1 vía * número de canales de control: 2 carreteras se pueden ampliar a 4 u 8 carreteras * control rango: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pensilvania * control modo: salida de contacto de relé, capacidad de carga AC220V / 3A (o DC28V / 3A) no inductivo carga * Energía: 90-260V / 50Hz o 220V ± 10% 50Hz * potencia consumo: 25W * Peso: 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (dependiendo del chasis) * chasis tamaño: 240 × 88 × 280 o 265 × 119 × 280 o 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 o 480 × 119 × 280 (ancho × alto × profundidad) 3. rendimiento características: * LED pantalla verde digital pantalla. * amplia gama de encuestas de estrellas * velocidad de respuesta rápida * la corrección del microordenador regula no linealidad y reduce los errores de medición. * aislamiento óptico, filtrado digital, mejorado antiinterferencias habilidad. * panel de color pvc, hermosa apariencia. * control de punto o salida de control de relé de área, mientras que el punto de ajuste tiene apagado memoria de protección función. 4. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre （Pa） 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre （Pa） 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre （Pa） 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad （rpm） 50Hz 1440 rpm 2 canales sistema de suministro de gas del medidor de flujo másico 1. visión general 1) El gas sale del cilindro, se despresuriza a través de la válvula reductora de presión, pasa por el PTFE tubo a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego controla el flujo de gas a través del medidor de flujo másico, luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y luego ingresa a la entrada del horno, y el gas se descarga. La tráquea sale, pasa a través de la válvula de tres vías, un extremo está conectado a la bomba de vacío y un extremo está conectado a la salida de aire. 2) un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas, y el disco indicador del manómetro y el caudalímetro de masa están instalados en el mismo panel. 3) cada línea de gas tiene un cierre de alta presión válvula para seguridad. 4) La ruta del gas adopta alta precisión caudalímetro de flotador de gas, y la parte interior de la ruta del gas adopta PTFE tubo, que tiene buena resistencia a la corrosión. 5) todas las juntas están conectadas por casquillos, que tienen buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión. 2. parámetros técnicos: aire canal: 2 flujo neumático control: controlador de flujo másico. Interfaz: Φ6 Pantalla: LEDambiente de trabajo temperatura: 5 ~ 45 ° C flujo controlador: controlador de flujo másico (consulte los parámetros técnicos detallados a continuación) PTFE tubo: Φ6 fuera XΦ4 presión de vacío manómetro: -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / división globo válvula: Φ6 3. La presión interna del sistema de suministro de gas debería no sea demasiado grande, de lo contrario provocará fugas de aire fácilmente, siempre que el gas pueda salir normalmente. 4. configuración del sistema de suministro de gas: 1) masa caudalímetro: 2 2) presión manómetro: 1 3) Corte válvula: 3 4) a través de la placa conector: 3 5) válvula conector: 2 6) cilindro juntas: 2 7) teflón tubo: 10M 8) aireación tanque: 1 9) horno parrilla: 1 juego masa caudalímetro parámetros técnicos: controlador de flujo másico tipo común, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (puede elegir el rango arbitrariamente) • Precisión: ± 1,5% F.S • Lineal: ± 0,5 al 1,5% F.S • Repetibilidad: ± 0,2% F.S • respuesta tiempo: 10 s • presión de aire caída:
