laboratorio CVD sistema con 1500-1500C horno de tubo rotatorio de doble zona El CVD sistema consta de sistema de suministro de gas + horno de tubo + sistema de vacío, y la temperatura máxima puede alcanzar 1200 grados, 1400 grados, 1600 grados, y 1700 grados. La zona de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura dual, una zona de tres temperaturas, etc. El vacío final puede alcanzar 10-3Pa. El sistema de suministro de gas puede ser másico caudalímetro o flotador caudalímetro para regulación de caudal. El número de canales de mezcla puede ser 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales. parámetros técnicos detallados modelo 1500-1500-I 1500-1500-II poder 9KW 9KW tamaño del tubo dia 60 (DE) X1400 mm de diámetro 80 (DE) X1400 mm voltaje de suministro 380V 380V fase fase dual fase dual tubocorindón tubo: alta pureza AIO cerámica (incluida) 99,5% elemento de calefacción primera temperatura zona: silicio segunda temperatura de la varilla de carbono zona: varilla de carbono de silicio velocidad de rotación del tubo del horno Con continuo motor de velocidad variable, la velocidad se puede ajustar entre (1-25 RPM) fuerza de motor 40W El horno se puede inclinar en ángulo 0-30 grados tipo de impulso correa dentada y engranaje modo de control UAV instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1, 30 etapas programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se corta automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede 1520 grados o el termopar está quemado, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. Encendido, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico de protección limitada).3, con 485 interfaz de comunicación (estándar cuando compra software) 4, con apagado función de protección, es decir, cuando la energía se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero la temperatura del horno aumenta de el momento de la falla de energía.5, el medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material del horno 1. horno de curado de fibra policristalina de alúmina de alta pureza de alta calidad formado por filtración al vacío. 2. adoptar la tecnología japonesa para el moldeado. precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16ESEMIKRON La temperatura más alta en la primera y segunda zona de temperatura. 1500 ℃ temperatura nominal en la primera y segunda zona de temperatura 1400 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (se puede modificar como requerido) tasa recomendada de aumento de temperatura ≤10 ℃ / min par termoeléctrico s typein la primera zona de temperatura s typein la segunda región de temperatura longitud de la sección de calentamiento en la primera y segunda zona de temperatura 300 + 300 mm 300 + 300 mm longitud de temperatura constante 450 mm 450 mm Gx-3 tres canales suministro de aire (mixto aire) sistema 1.1. El gas sale del cilindro, se despresuriza a través de una válvula reductora de presión, pasa por el PTFE tubo a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego pasa a través del medidor de flujo másico para controlar el flujo de gas, y luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y luego entra en la entrada del horno. 1.2. un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas, y el disco indicador del manómetro y el protón medidor de flujo controlador están instalados en el mismo panel. 1.3. cada línea de gas tiene un cierre de alta presión válvula para seguridad. 1.4. La ruta del gas adopta una alta precisión medidor de flujo másico de gas, y el interior de la ruta del gas está completamente hecho de tubería de acero inoxidable, que tiene buena resistencia a la corrosión. 1.5. todas las uniones de la caja están conectadas por casquillos de acero inoxidable, que tienen buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión. 2. parámetros técnicos: neumático canal: 3 flujo de gas control: medidor de flujo másico.armario dimensiones: 600X600X600mm masa caudalímetro parámetros técnicos: Interfaz: Φ6 Pantalla: LEDambiente de trabajo temperatura: 5 ~ 45 ° C flujo controlador: parámetros del controlador de flujo de protones, vuelva a consultaracero inoxidable tubo: Φ6 fuera de x Φ4 presión de vacío mesa: -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / división parada válvula: Φ6 flujo control: PLC control inteligente 3. masa caudalímetro parámetros técnicos: producto Nombre: controlador de flujo másico descripción del producto : tipo normal, circuito analógico producto detalles: Circuito analógico ordinario, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (puede elegir el rango arbitrariamente) • Precisión: ± 1% F.S • Lineal: 0,5% F.S • Repetibilidad: ± 0,2% F.S • respuesta tiempo: 1 s • presión de aire caída:

1600C PECVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad. parámetros técnicos detallados modelo TL1600-I poder 5KW tubo tamaño （OD） (mm) Alta pureza corindón tubo: 60 mm (tubo diámetro) se colocan dos tapones de horno a cada lado. El enchufe del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar. dimensión 1120X490X855 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción 1800 modelo de barra de molibdeno de silicio tipo de control de temperaturauso Yudian instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1. 30 segmentos programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se cortará automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o cuando la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico está limitado protegido). 3. Con 485 interfaz de comunicación (estándar con software opcional ) 4. tiene una función de protección contra cortes de energía, es decir, cuando el horno se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la energía está apagada. 5.La medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material de la cámara 1. El material del hogar está hecho de fibra de alúmina policristalina de alta calidad. 2. La superficie del horno interior está recubierta con 1800 importados grado de recubrimiento de alúmina de alta temperatura, que puede aumentar la emisividad y hacer que el campo de temperatura esté más equilibrado. válvulas y bridas precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16E SEMIKRON Máx. temperatura 1600 ℃ temperatura nominal 1550 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (Puede modificarse según sea necesario) tasa de calentamiento recomendada ≤10 ℃ / min modelo de termopar tipo b longitud de la sección de calentamiento 300 mm temperatura ambiente de la superficie ≤45 ℃ Sistema de vacío VS-0.1 Sistema de vacío VS-0.1 El sistema de vacío puede dibujar el grado de vacío en el tubo del horno de tubo to0.1Pa (y equipado con indicador de vacío de resistencia pantalla). Con pantalla led verde digital pantalla. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre （Pa） 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre （Pa） 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre （Pa） 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad （rpm） 50Hz 1440 rpm sistema de suministro de gas medidor de flujo de gas sistema de suministro de gasparámetros técnicos: l neumático canal: 6 l caudal neumático control: utilizar medidor de flujo másico.l armario tamaño: 600X600X600mm l Con pantalla LEDl parámetros técnicos de masa caudalímetro: interfaz Φ6 monitor LED temperatura ambiente de trabajo 5 ~ 45 ℃ controlador de flujo Se utiliza un controlador de flujo de protones, consulte la parte posterior tubo de acero inoxidable Φ6 fuera de x Φ4 dentro mesa de vacío de presión -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / div válvula de parada Φ6 control de flujo PLC control inteligenteparámetros técnicos de flujo másico Controlador: producto descripción: tipo común, circuito analógico producto detallado descripción: tipo ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: rango 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (puede elegir cualquier rango) por favor confirme cuando tu haces el pedido exactitud ± 1% F.S lineal 0,5% F.S Repetibilidad ± 0,2% F.S tiempo de respuesta 1 s caída de presión del aire

1600C PECVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad. parámetros técnicos detallados modelo TL1600-I poder 5KW tubo tamaño （OD） (mm) Alta pureza corindón tubo: 60 mm (tubo diámetro) se colocan dos tapones de horno a cada lado. El enchufe del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar. dimensión 1120X490X855 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción 1800 modelo de barra de molibdeno de silicio tipo de control de temperaturauso Yudian instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1. 30 segmentos programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se cortará automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o cuando la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico está limitado protegido). 3. Con 485 interfaz de comunicación (estándar con software opcional ) 4. tiene una función de protección contra cortes de energía, es decir, cuando el horno se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la energía está apagada. 5.La medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material de la cámara 1. El material del hogar está hecho de fibra de alúmina policristalina de alta calidad. 2. La superficie del horno interior está recubierta con 1800 importados grado de recubrimiento de alúmina de alta temperatura, que puede aumentar la emisividad y hacer que el campo de temperatura esté más equilibrado. válvulas y bridas precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16E SEMIKRON Máx. temperatura 1600 ℃ temperatura nominal 1550 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (Puede modificarse según sea necesario) tasa de calentamiento recomendada ≤10 ℃ / min modelo de termopar tipo b longitud de la sección de calentamiento 300 mm temperatura ambiente de la superficie ≤45 ℃ Sistema de vacío VS-0.1 Sistema de vacío VS-0.1 El sistema de vacío puede dibujar el grado de vacío en el tubo del horno de tubo to0.1Pa (y equipado con indicador de vacío de resistencia pantalla). Con pantalla led verde digital pantalla. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre （Pa） 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre （Pa） 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre （Pa） 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad （rpm） 50Hz 1440 rpm sistema de suministro de gas medidor de flujo de gas sistema de suministro de gasparámetros técnicos: l neumático canal: 6 l caudal neumático control: utilizar medidor de flujo másico.l armario tamaño: 600X600X600mm l Con pantalla LEDl parámetros técnicos de masa caudalímetro: interfaz Φ6 monitor LED temperatura ambiente de trabajo 5 ~ 45 ℃ controlador de flujo Se utiliza un controlador de flujo de protones, consulte la parte posterior tubo de acero inoxidable Φ6 fuera de x Φ4 dentro mesa de vacío de presión -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / div válvula de parada Φ6 control de flujo PLC control inteligenteparámetros técnicos de flujo másico Controlador: producto descripción: tipo común, circuito analógico producto detallado descripción: tipo ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: rango 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (puede elegir cualquier rango) por favor confirme cuando tu haces el pedido exactitud ± 1% F.S lineal 0,5% F.S Repetibilidad ± 0,2% F.S tiempo de respuesta 1 s caída de presión del aire

sistema de vacío con VRD16 bomba de vacío para CVD sistema I. visión generalEl sistema (puede bombear el vacío en el horno tubular a 0,6 Pa) consta de una brida de succión (de fabricación propia) con KF25 interfaz, método de deflector de alto vacío, indicador de vacío de resistencia, fuelles, soporte (hecho en casa), bomba de vacío conecte el tubo en T en la salida de la brida, conecte el silicio de resistencia a un extremo del tubo de tres vías, conecte la válvula de charnela de alto vacío a el otro extremo, conecte la válvula de charnela y la bomba de vacío con el corrugado de Dia25, y utilice el KF25 pinza rápida para el puerto de conexión. . 2. sistema de detección de presión ZDR-I / ZDR-I-LED tipo vacuómetro de resistencia simple El medidor de vacío de resistencia (también conocido como el medidor de vacío Pirani) utiliza un ZJ-52T medidor de resistencia y aplica un nuevo modo de funcionamiento a temperatura constante a la potencia constante. al mismo tiempo, el microprocesador se utiliza para controlar la no linealidad del reglamento. procesamiento lineal. tiene las características de rendimiento estable, amplio rango de medición, respuesta rápida y pequeña desviación. Y potente y fiable basado en microprocesador control de relé, salida de comunicación en serie, salida analógica de vacío y otras funciones. especialmente adecuado para la medición y el control de vacío aproximado y bajo de aplicaciones de vacío.técnico Parámetros: * distribución regulación: ZJ-52T medidor de resistencia * medición rango: 10 5 ～ 10 -1 Pensilvania * número de medidas: 1 vía * número de canales de control: 2 carreteras se pueden ampliar a 4 u 8 carreteras * control rango: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pensilvania * control modo: salida de contacto de relé, capacidad de carga AC220V / 3A (o DC28V / 3A) no inductivo carga * Energía: 90-260V / 50Hz o 220V ± 10% 50Hz * potencia consumo: 25W * Peso: 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (dependiendo del chasis) * chasis tamaño: 240 × 88 × 280 o 265 × 119 × 280 o 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 o 480 × 119 × 280 (ancho × alto × profundidad) rendimiento características: * LED pantalla verde digital pantalla. * amplia gama de encuestas de estrellas * velocidad de respuesta rápida * la corrección del microordenador regula no linealidad y reduce los errores de medición. * aislamiento óptico, filtrado digital, mejorado antiinterferencias habilidad. * panel de color pvc, hermosa apariencia. * control de punto o salida de control de relé de área, mientras que el punto de ajuste tiene apagado memoria de protección función. 3. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre （Pa） 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre （Pa） 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre （Pa） 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad （rpm） 50Hz 1440 rpm 1 estándar exportado paquete: interno anticolisión protección exterior exportacion caja de madera embalajes. 2 envío por expreso, por aire, por mar según clientes ' requisitos para encontrar la forma más adecuada. 3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará la pieza dañada gratis.

fuente de alimentación rf para PECVD El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad.principales parámetros técnicos de la alimentación de rf rango de potencia de salida 0-500W máxima potencia reflejada 200W frecuencia de trabajo RF: 13,56 MHZ ± 0,005% estabilidad de poder + / -0,1% componente armónico ≤-50dbc ancho de la región rf 0-600mmadjustable forma coincidente automático modo de enfriamiento puntos de frio ruido

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