1600C CVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío
1600C PECVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad. parámetros técnicos detallados modelo TL1600-I poder 5KW tubo tamaño （OD） (mm) Alta pureza corindón tubo: 60 mm (tubo diámetro) se colocan dos tapones de horno a cada lado. El enchufe del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar. dimensión 1120X490X855 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción 1800 modelo de barra de molibdeno de silicio tipo de control de temperaturauso Yudian instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1. 30 segmentos programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se cortará automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o cuando la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico está limitado protegido). 3. Con 485 interfaz de comunicación (estándar con software opcional ) 4. tiene una función de protección contra cortes de energía, es decir, cuando el horno se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la energía está apagada. 5.La medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material de la cámara 1. El material del hogar está hecho de fibra de alúmina policristalina de alta calidad. 2. La superficie del horno interior está recubierta con 1800 importados grado de recubrimiento de alúmina de alta temperatura, que puede aumentar la emisividad y hacer que el campo de temperatura esté más equilibrado. válvulas y bridas precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16E SEMIKRON Máx. temperatura 1600 ℃ temperatura nominal 1550 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (Puede modificarse según sea necesario) tasa de calentamiento recomendada ≤10 ℃ / min modelo de termopar tipo b longitud de la sección de calentamiento 300 mm temperatura ambiente de la superficie ≤45 ℃ Sistema de vacío VS-0.1 Sistema de vacío VS-0.1 El sistema de vacío puede dibujar el grado de vacío en el tubo del horno de tubo to0.1Pa (y equipado con indicador de vacío de resistencia pantalla). Con pantalla led verde digital pantalla. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre （Pa） 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre （Pa） 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre （Pa） 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad （rpm） 50Hz 1440 rpm sistema de suministro de gas medidor de flujo de gas sistema de suministro de gasparámetros técnicos: l neumático canal: 6 l caudal neumático control: utilizar medidor de flujo másico.l armario tamaño: 600X600X600mm l Con pantalla LEDl parámetros técnicos de masa caudalímetro: interfaz Φ6 monitor LED temperatura ambiente de trabajo 5 ~ 45 ℃ controlador de flujo Se utiliza un controlador de flujo de protones, consulte la parte posterior tubo de acero inoxidable Φ6 fuera de x Φ4 dentro mesa de vacío de presión -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / div válvula de parada Φ6 control de flujo PLC control inteligenteparámetros técnicos de flujo másico Controlador: producto descripción: tipo común, circuito analógico producto detallado descripción: tipo ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: rango 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (puede elegir cualquier rango) por favor confirme cuando tu haces el pedido exactitud ± 1% F.S lineal 0,5% F.S Repetibilidad ± 0,2% F.S tiempo de respuesta 1 s caída de presión del aire
