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CVD horno

1600C CVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío

1600C CVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío

  • Artículo No.:

    TMAX-1600PECVD
  • Pago:

    L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
  • Puerto de embarque:

    Xiamen Port
  • Tiempo de espera:

    5 Days
  • certificado:

    CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
  • garantía:

    Two years limited warranty with lifetime technical support
Detalles de producto

1600C PECVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío


El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad.



parámetros técnicos detallados

modelo

TL1600-I

poder

5KW

tubo tamaño (OD) (mm)

Alta pureza corindón tubo: 60 mm (tubo diámetro)

se colocan dos tapones de horno a cada lado. El enchufe del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar.

dimensión

1120X490X855

voltaje de suministro

220V

fase

fase única

elemento de calefacción

1800 modelo de barra de molibdeno de silicio

tipo de control de temperatura

uso Yudian instrumento de control de temperatura del programa (estándar)

1. 30 segmentos programa de control de temperatura inteligente pid ajuste.

2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se cortará automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o cuando la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico está limitado protegido).

3. Con 485 interfaz de comunicación (estándar con software opcional )

4. tiene una función de protección contra cortes de energía, es decir, cuando el horno se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la energía está apagada.

5.La medidor tiene la función de temperatura autoajuste

(usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional)

FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento

(shimaden, Japón)

material de la cámara

1. El material del hogar está hecho de fibra de alúmina policristalina de alta calidad.

2. La superficie del horno interior está recubierta con 1800 importados grado de recubrimiento de alúmina de alta temperatura, que puede aumentar la emisividad y hacer que el campo de temperatura esté más equilibrado.

válvulas y bridas

precisión de control

+ / - 1 ℃

desencadenar

Fase desplazada desencadenar

aparato eléctrico

Zhejiang chint

controlado por silicio

106 / 16E SEMIKRON

Máx. temperatura

1600 ℃

temperatura nominal

1550 ℃

velocidad de calentamiento

≤20 ℃ / Min (Puede modificarse según sea necesario)

tasa de calentamiento recomendada

≤10 ℃ / min

modelo de termopar

tipo b

longitud de la sección de calentamiento

300 mm

temperatura ambiente de la superficie

≤45 ℃

Sistema de vacío


VS-0.1 Sistema de vacío

VS-0.1 El sistema de vacío puede dibujar el grado de vacío en el tubo del horno de tubo to0.1Pa (y equipado con indicador de vacío de resistencia pantalla).

Con pantalla led verde digital pantalla.

adoptar VRD16 bomba aspiradora


VRD16

termino tecnico

especificación

VRD-16


bombeo velocidadm³ / h (L / s)

50Hz

16 m³ / h

4,4 L / s

60Hz

19,2 m³ / h

5,2 L / s

limitar la presión parcial - sin gas lastre (Pa)

4x10-2

limitar la presión total - sin gas lastre (Pa)

4x10-1

limitación de la presión total - gas lastre (Pa)

8x10-1

fuente de alimentación

monofásico / tres fase

motor potencia (KW)

0,75 KW / 0,55 kw

Entrada / Salida connectionDN

KF25

capacidad de aceite

0,9-1,5 l

motor velocidad (rpm)

50Hz

1440 rpm

sistema de suministro de gas

medidor de flujo de gas sistema de suministro de gas

parámetros técnicos:

l neumático canal: 6

l caudal neumático control: utilizar medidor de flujo másico.

l armario tamaño: 600X600X600mm

l Con pantalla LED

l parámetros técnicos de masa caudalímetro:

interfaz

Φ6

monitor

LED

temperatura ambiente de trabajo

5 ~ 45 ℃

controlador de flujo

Se utiliza un controlador de flujo de protones, consulte la parte posterior

tubo de acero inoxidable

Φ6 fuera de x Φ4 dentro

mesa de vacío de presión

-0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / div

válvula de parada

Φ6

control de flujo

PLC control inteligente


parámetros técnicos de flujo másico Controlador:

producto descripción: tipo común, circuito analógico

producto detallado descripción: tipo ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.

principales indicadores:

rango

5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (puede elegir cualquier rango) por favor confirme cuando tu haces el pedido

exactitud

± 1% F.S

lineal

0,5% F.S

Repetibilidad

± 0,2% F.S

tiempo de respuesta

1 s

caída de presión del aire

<0.01MPa

presión máxima

3MP

temperatura ambiente de trabajo

5 ~ 45 ℃

señal de entrada y salida

0 ~ + 5,00V

fuente de alimentación

+ 15V 50mA -15V 50mA

dimensiones

158 * 30 * 110

peso

0,9 kg


configuración del sistema de suministro de gas:

protón caudalímetro

6

manómetro mecánico (rango -0.1 ~ 0.15MPa)

1

válvulas de globo de acero inoxidable

6

acero inoxidable placa pasante conectores

6

juntas de válvula de acero inoxidable

2

conector de cilindro de acero inoxidable

6

PTFE tubo

30M

Dia80X140MM tanque de mezcla de gas

1

Marco de horno

1 juego

generadores de rf / fuentes de alimentación de rf

principales parámetros técnicos de la alimentación de rf


rango de potencia de salida

0-500W

máxima potencia reflejada

200W

frecuencia de trabajo

RF: 13,56 MHZ ± 0,005%

estabilidad de poder

+ / -0,1%

componente armónico

≤-50dbc

ancho de la región rf

0-600 mm ajustable

forma coincidente

automático

modo de enfriamiento

puntos de frio

ruido

<50dB

interfaz de radiofrecuencia

50Ω Tipo N

potencia de entrada

208-240V 50 / 60HZ
















garantía

garantía de un año y soporte técnico de por vida

especial Nota:

1. las piezas consumibles como elementos calefactores, tubos de hornos, crisoles de muestra, etc. no están dentro del período de garantía.

2. los daños causados ​​por el uso de gas corrosivo y gas ácido no están cubiertos por la garantía.


precauciones

1. La presión del aire en el tubo del horno debería no ser mayor que 0.02MPa

2. debido a la alta presión de aire dentro del cilindro de gas, se debe instalar una válvula de alivio de presión en el cilindro de gas cuando se introduce gas en el tubo del horno. Para garantizar la seguridad, se recomienda utilizar una presión inferior a 0.02MPa

3. Cuando el tubo del horno utilizado es el tubo de corindón, cuando la temperatura del cuerpo del horno es más alta que 1500 ℃, el tubo del horno debe no estar en un estado de vacío, y la presión de aire en el tubo del horno debería ser igual a la presión atmosférica.

4. El flujo de gas hacia el tubo del horno debería ser menor que 200SCCM para evitar el impacto del flujo de aire frío en el tubo del horno caliente

5. Para En el experimento de calentamiento de la muestra, no se recomienda cerrar la válvula de escape y la válvula de entrada del extremo de la brida del tubo del horno. Si debe cerrar la válvula de gas para calentar la muestra, siempre debe prestar atención a la indicación del manómetro Si la presión es mayor que 0.02MPa, debe abrir inmediatamente la válvula de escape para evitar accidentes (como rotura del tubo del horno, brida saliendo, etc.) .

6. no utilice crisoles de grafito en tubos de alúmina.

7. MoSi2 elemento calefactor debería no debe utilizarse a baja temperatura (400 ℃ -700 ℃) durante mucho tiempo, de lo contrario podría dañar el elemento calefactor.



Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



1 estándar exportado paquete: interno anticolisión protección exterior exportacion caja de madera embalajes.

2 envío por expreso, por aire, por mar según clientes ' requisitos para encontrar la forma más adecuada.

3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará la pieza dañada gratis.



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El número de canales de mezcla puede ser 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales. parámetros técnicos detallados del horno de tubo tipo 1200-I 1200-II 1200-III 1200-V 1200-VI 1200-VII poder 3.5KW 3.5KW 3.5KW 5KW 6KW 7KW tubo tamaño (DE (mm) dia 60 X1000 Dia80X1000 Dia100X1000 Dia150X1000 Dia200X1000 Dia250X1000 dimensiones 1140X450X690 1140X450X690 1140X450X690 1110X530X755 1120X580X805 1314X680X905 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción alambre de resistencia control de temperatura UAV instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1, 30 etapas programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se corta automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede los 1200 grados o el termopar está quemado, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. Encendido, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico de protección limitada).3, con 485 interfaz de comunicación (estándar cuando compra software) 4, con apagado función de protección, es decir, cuando la energía se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero la temperatura del horno aumenta de el momento de la falla de energía.5, el medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 controlador de temperatura (shimashima, Japón) instrumento europeo de pantalla táctil instrumento material de la cámara 1. Alta calidad alta pureza horno de curado de fibra policristalina de alúmina formado por succión al vacío filtración. 2. formado por tecnología japonesa. 3. El espaciado y el paso de los cables de resistencia en el horno están dispuestos de acuerdo con la mejor tecnología térmica en Japón, y el campo de temperatura es simulado por el software térmico. válvula y brida 60 / 80 / 100 arriba vercalibración de temperatura (opcional) La calibración regular de la temperatura del horno tubular mantiene la precisión y uniformidad de la temperatura del horno. Usted puede comprar una herramienta de calibración simple la empresa para ayudarlo con este trabajo. El kit de calibración completo incluye un calibrador de temperatura de termopar estándar tipo S. precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16ESEMIKRON temperatura máxima 1200 ℃ temperatura nominal 1150 ℃ velocidad de calentamiento ≤30 ℃ / Min (se puede modificar como requerido) tasa recomendada de aumento de temperatura ≤15 ℃ / min tipo de termopar tipo k longitud de calentamiento 400-440 mm longitud de temperatura constante 150 mm curva de campo de temperatura temperatura de la superficie periférica ≤45 ℃ sistema de protección de cubierta abierta Cuando se abre la tapa del horno, el relé cortará automáticamente la fuente de alimentación principal, garantizando de forma eficaz la seguridad del usuario. VS-0.1 sistema de vacío (VRD16) El sistema (puede bombear el vacío en el horno tubular a 0,6 Pa) consta de una brida de succión (de fabricación propia) con KF25 interfaz, método de deflector de alto vacío, indicador de vacío de resistencia, fuelles, soporte (hecho en casa), bomba de vacío conecte el tubo en T en la salida de la brida, conecte el silicio de resistencia a un extremo del tubo de tres vías, conecte la válvula de charnela de alto vacío a el otro extremo, conecte la válvula de charnela y la bomba de vacío con el corrugado de Dia25, y utilice el KF25 pinza rápida para el puerto de conexión. . 1. sistema de detección de presión ZDR-I / ZDR-I-LED tipo vacuómetro de resistencia simple El medidor de vacío de resistencia (también conocido como el medidor de vacío Pirani) utiliza un ZJ-52T medidor de resistencia y aplica un nuevo modo de funcionamiento a temperatura constante a la potencia constante. al mismo tiempo, el microprocesador se utiliza para controlar la no linealidad del reglamento. procesamiento lineal. tiene las características de rendimiento estable, amplio rango de medición, respuesta rápida y pequeña desviación. Y potente y fiable basado en microprocesador control de relé, salida de comunicación en serie, salida analógica de vacío y otras funciones. especialmente adecuado para la medición y el control de vacío aproximado y bajo de aplicaciones de vacío. 2. técnico Parámetros: * distribución regulación: ZJ-52T medidor de resistencia * medición rango: 10 5 ~ 10 -1 Pensilvania * número de medidas: 1 vía * número de canales de control: 2 carreteras se pueden ampliar a 4 u 8 carreteras * control rango: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pensilvania * control modo: salida de contacto de relé, capacidad de carga AC220V / 3A (o DC28V / 3A) no inductivo carga * Energía: 90-260V / 50Hz o 220V ± 10% 50Hz * potencia consumo: 25W * Peso: 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (dependiendo del chasis) * chasis tamaño: 240 × 88 × 280 o 265 × 119 × 280 o 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 o 480 × 119 × 280 (ancho × alto × profundidad) 3. rendimiento características: * LED pantalla verde digital pantalla. * amplia gama de encuestas de estrellas * velocidad de respuesta rápida * la corrección del microordenador regula no linealidad y reduce los errores de medición. * aislamiento óptico, filtrado digital, mejorado antiinterferencias habilidad. * panel de color pvc, hermosa apariencia. * control de punto o salida de control de relé de área, mientras que el punto de ajuste tiene apagado memoria de protección función. 4. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre (Pa) 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre (Pa) 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre (Pa) 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia (KW) 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad (rpm) 50Hz 1440 rpm 2 canales sistema de suministro de gas del medidor de flujo másico 1. visión general 1) El gas sale del cilindro, se despresuriza a través de la válvula reductora de presión, pasa por el PTFE tubo a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego controla el flujo de gas a través del medidor de flujo másico, luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y luego ingresa a la entrada del horno, y el gas se descarga. La tráquea sale, pasa a través de la válvula de tres vías, un extremo está conectado a la bomba de vacío y un extremo está conectado a la salida de aire. 2) un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas, y el disco indicador del manómetro y el caudalímetro de masa están instalados en el mismo panel. 3) cada línea de gas tiene un cierre de alta presión válvula para seguridad. 4) La ruta del gas adopta alta precisión caudalímetro de flotador de gas, y la parte interior de la ruta del gas adopta PTFE tubo, que tiene buena resistencia a la corrosión. 5) todas las juntas están conectadas por casquillos, que tienen buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión. 2. parámetros técnicos: aire canal: 2 flujo neumático control: controlador de flujo másico. Interfaz: Φ6 Pantalla: LEDambiente de trabajo temperatura: 5 ~ 45 ° C flujo controlador: controlador de flujo másico (consulte los parámetros técnicos detallados a continuación) PTFE tubo: Φ6 fuera XΦ4 presión de vacío manómetro: -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / división globo válvula: Φ6 3. La presión interna del sistema de suministro de gas debería no sea demasiado grande, de lo contrario provocará fugas de aire fácilmente, siempre que el gas pueda salir normalmente. 4. configuración del sistema de suministro de gas: 1) masa caudalímetro: 2 2) presión manómetro: 1 3) Corte válvula: 3 4) a través de la placa conector: 3 5) válvula conector: 2 6) cilindro juntas: 2 7) teflón tubo: 10M 8) aireación tanque: 1 9) horno parrilla: 1 juego masa caudalímetro parámetros técnicos: controlador de flujo másico tipo común, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (puede elegir el rango arbitrariamente) • Precisión: ± 1,5% F.S • Lineal: ± 0,5 al 1,5% F.S • Repetibilidad: ± 0,2% F.S • respuesta tiempo: 10 s • presión de aire caída:

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laboratorio CVD sistema con 1500-1500C horno de tubo rotatorio de doble zona

laboratorio CVD sistema con 1500-1500C horno de tubo rotatorio de doble zona El CVD sistema consta de sistema de suministro de gas + horno de tubo + sistema de vacío, y la temperatura máxima puede alcanzar 1200 grados, 1400 grados, 1600 grados, y 1700 grados. La zona de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura dual, una zona de tres temperaturas, etc. El vacío final puede alcanzar 10-3Pa. El sistema de suministro de gas puede ser másico caudalímetro o flotador caudalímetro para regulación de caudal. El número de canales de mezcla puede ser 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales. parámetros técnicos detallados modelo 1500-1500-I 1500-1500-II poder 9KW 9KW tamaño del tubo dia 60 (DE) X1400 mm de diámetro 80 (DE) X1400 mm voltaje de suministro 380V 380V fase fase dual fase dual tubocorindón tubo: alta pureza AIO cerámica (incluida) 99,5% elemento de calefacción primera temperatura zona: silicio segunda temperatura de la varilla de carbono zona: varilla de carbono de silicio velocidad de rotación del tubo del horno Con continuo motor de velocidad variable, la velocidad se puede ajustar entre (1-25 RPM) fuerza de motor 40W El horno se puede inclinar en ángulo 0-30 grados tipo de impulso correa dentada y engranaje modo de control UAV instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1, 30 etapas programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se corta automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede 1520 grados o el termopar está quemado, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. Encendido, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico de protección limitada).3, con 485 interfaz de comunicación (estándar cuando compra software) 4, con apagado función de protección, es decir, cuando la energía se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero la temperatura del horno aumenta de el momento de la falla de energía.5, el medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material del horno 1. horno de curado de fibra policristalina de alúmina de alta pureza de alta calidad formado por filtración al vacío. 2. adoptar la tecnología japonesa para el moldeado. precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16ESEMIKRON La temperatura más alta en la primera y segunda zona de temperatura. 1500 ℃ temperatura nominal en la primera y segunda zona de temperatura 1400 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (se puede modificar como requerido) tasa recomendada de aumento de temperatura ≤10 ℃ / min par termoeléctrico s typein la primera zona de temperatura s typein la segunda región de temperatura longitud de la sección de calentamiento en la primera y segunda zona de temperatura 300 + 300 mm 300 + 300 mm longitud de temperatura constante 450 mm 450 mm Gx-3 tres canales suministro de aire (mixto aire) sistema 1.1. El gas sale del cilindro, se despresuriza a través de una válvula reductora de presión, pasa por el PTFE tubo a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego pasa a través del medidor de flujo másico para controlar el flujo de gas, y luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y luego entra en la entrada del horno. 1.2. un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas, y el disco indicador del manómetro y el protón medidor de flujo controlador están instalados en el mismo panel. 1.3. cada línea de gas tiene un cierre de alta presión válvula para seguridad. 1.4. La ruta del gas adopta una alta precisión medidor de flujo másico de gas, y el interior de la ruta del gas está completamente hecho de tubería de acero inoxidable, que tiene buena resistencia a la corrosión. 1.5. todas las uniones de la caja están conectadas por casquillos de acero inoxidable, que tienen buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión. 2. parámetros técnicos: neumático canal: 3 flujo de gas control: medidor de flujo másico.armario dimensiones: 600X600X600mm masa caudalímetro parámetros técnicos: Interfaz: Φ6 Pantalla: LEDambiente de trabajo temperatura: 5 ~ 45 ° C flujo controlador: parámetros del controlador de flujo de protones, vuelva a consultaracero inoxidable tubo: Φ6 fuera de x Φ4 presión de vacío mesa: -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / división parada válvula: Φ6 flujo control: PLC control inteligente 3. masa caudalímetro parámetros técnicos: producto Nombre: controlador de flujo másico descripción del producto : tipo normal, circuito analógico producto detalles: Circuito analógico ordinario, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (puede elegir el rango arbitrariamente) • Precisión: ± 1% F.S • Lineal: 0,5% F.S • Repetibilidad: ± 0,2% F.S • respuesta tiempo: 1 s • presión de aire caída:

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1600C PECVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad. parámetros técnicos detallados modelo TL1600-I poder 5KW tubo tamaño (OD) (mm) Alta pureza corindón tubo: 60 mm (tubo diámetro) se colocan dos tapones de horno a cada lado. El enchufe del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar. dimensión 1120X490X855 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción 1800 modelo de barra de molibdeno de silicio tipo de control de temperaturauso Yudian instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1. 30 segmentos programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se cortará automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o cuando la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico está limitado protegido). 3. Con 485 interfaz de comunicación (estándar con software opcional ) 4. tiene una función de protección contra cortes de energía, es decir, cuando el horno se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la energía está apagada. 5.La medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material de la cámara 1. El material del hogar está hecho de fibra de alúmina policristalina de alta calidad. 2. La superficie del horno interior está recubierta con 1800 importados grado de recubrimiento de alúmina de alta temperatura, que puede aumentar la emisividad y hacer que el campo de temperatura esté más equilibrado. válvulas y bridas precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16E SEMIKRON Máx. temperatura 1600 ℃ temperatura nominal 1550 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (Puede modificarse según sea necesario) tasa de calentamiento recomendada ≤10 ℃ / min modelo de termopar tipo b longitud de la sección de calentamiento 300 mm temperatura ambiente de la superficie ≤45 ℃ Sistema de vacío VS-0.1 Sistema de vacío VS-0.1 El sistema de vacío puede dibujar el grado de vacío en el tubo del horno de tubo to0.1Pa (y equipado con indicador de vacío de resistencia pantalla). Con pantalla led verde digital pantalla. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre (Pa) 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre (Pa) 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre (Pa) 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia (KW) 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad (rpm) 50Hz 1440 rpm sistema de suministro de gas medidor de flujo de gas sistema de suministro de gasparámetros técnicos: l neumático canal: 6 l caudal neumático control: utilizar medidor de flujo másico.l armario tamaño: 600X600X600mm l Con pantalla LEDl parámetros técnicos de masa caudalímetro: interfaz Φ6 monitor LED temperatura ambiente de trabajo 5 ~ 45 ℃ controlador de flujo Se utiliza un controlador de flujo de protones, consulte la parte posterior tubo de acero inoxidable Φ6 fuera de x Φ4 dentro mesa de vacío de presión -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / div válvula de parada Φ6 control de flujo PLC control inteligenteparámetros técnicos de flujo másico Controlador: producto descripción: tipo común, circuito analógico producto detallado descripción: tipo ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: rango 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (puede elegir cualquier rango) por favor confirme cuando tu haces el pedido exactitud ± 1% F.S lineal 0,5% F.S Repetibilidad ± 0,2% F.S tiempo de respuesta 1 s caída de presión del aire

VS-0.1 Vacuum System with VRD16 Vacuum Pump for CVD System -Tmax
VS-0.1 sistema de vacío con VRD16 bomba de vacío para CVD sistema

sistema de vacío con VRD16 bomba de vacío para CVD sistema I. visión generalEl sistema (puede bombear el vacío en el horno tubular a 0,6 Pa) consta de una brida de succión (de fabricación propia) con KF25 interfaz, método de deflector de alto vacío, indicador de vacío de resistencia, fuelles, soporte (hecho en casa), bomba de vacío conecte el tubo en T en la salida de la brida, conecte el silicio de resistencia a un extremo del tubo de tres vías, conecte la válvula de charnela de alto vacío a el otro extremo, conecte la válvula de charnela y la bomba de vacío con el corrugado de Dia25, y utilice el KF25 pinza rápida para el puerto de conexión. . 2. sistema de detección de presión ZDR-I / ZDR-I-LED tipo vacuómetro de resistencia simple El medidor de vacío de resistencia (también conocido como el medidor de vacío Pirani) utiliza un ZJ-52T medidor de resistencia y aplica un nuevo modo de funcionamiento a temperatura constante a la potencia constante. al mismo tiempo, el microprocesador se utiliza para controlar la no linealidad del reglamento. procesamiento lineal. tiene las características de rendimiento estable, amplio rango de medición, respuesta rápida y pequeña desviación. Y potente y fiable basado en microprocesador control de relé, salida de comunicación en serie, salida analógica de vacío y otras funciones. especialmente adecuado para la medición y el control de vacío aproximado y bajo de aplicaciones de vacío.técnico Parámetros: * distribución regulación: ZJ-52T medidor de resistencia * medición rango: 10 5 ~ 10 -1 Pensilvania * número de medidas: 1 vía * número de canales de control: 2 carreteras se pueden ampliar a 4 u 8 carreteras * control rango: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pensilvania * control modo: salida de contacto de relé, capacidad de carga AC220V / 3A (o DC28V / 3A) no inductivo carga * Energía: 90-260V / 50Hz o 220V ± 10% 50Hz * potencia consumo: 25W * Peso: 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (dependiendo del chasis) * chasis tamaño: 240 × 88 × 280 o 265 × 119 × 280 o 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 o 480 × 119 × 280 (ancho × alto × profundidad) rendimiento características: * LED pantalla verde digital pantalla. * amplia gama de encuestas de estrellas * velocidad de respuesta rápida * la corrección del microordenador regula no linealidad y reduce los errores de medición. * aislamiento óptico, filtrado digital, mejorado antiinterferencias habilidad. * panel de color pvc, hermosa apariencia. * control de punto o salida de control de relé de área, mientras que el punto de ajuste tiene apagado memoria de protección función. 3. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre (Pa) 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre (Pa) 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre (Pa) 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia (KW) 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad (rpm) 50Hz 1440 rpm 1 estándar exportado paquete: interno anticolisión protección exterior exportacion caja de madera embalajes. 2 envío por expreso, por aire, por mar según clientes ' requisitos para encontrar la forma más adecuada. 3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará la pieza dañada gratis.

RF Power Supply for PECVD -Tmax
fuente de alimentación rf para PECVD

fuente de alimentación rf para PECVD El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad.principales parámetros técnicos de la alimentación de rf rango de potencia de salida 0-500W máxima potencia reflejada 200W frecuencia de trabajo RF: 13,56 MHZ ± 0,005% estabilidad de poder + / -0,1% componente armónico ≤-50dbc ancho de la región rf 0-600mmadjustable forma coincidente automático modo de enfriamiento puntos de frio ruido

Ball Mill Machine
tipo de producción máquina de molino de bolas agitado de alta velocidad

tipo de producción máquina de molino de bolas agitado de alta velocidad El molino de bolas agitado consiste principalmente en una jarra con medio de molienda interno, dispositivo de agitación y otros dispositivos auxiliares como dispositivo de reciclaje, dispositivo de enfriamiento, dispositivo de sincronización, controlador de ajuste de velocidad, etc. Sus ventajas de alta eficiencia y granularidad fina cumplen con los requisitos tecnológicos de varios procesos. El molino de bolas agitado es una especie de equipo ideal que se utiliza para triturar nuevos materiales y pintura de investigación para universidades, centros de investigación y empresas porque de sus características de lote pequeño, bajo consumo y bajo precio. Cuando La máquina gira a alta velocidad bajo la conducción del eje principal y los medios de molienda se mueven irregularmente al mismo tiempo, el material de molienda se puede triturar, moler y cortar granularidad fina polvo. El tamaño, la forma y la relación de coincidencia de los medios de molienda pueden afectar el resultado de la molienda. en términos generales, cuanto más grande es el medio de molienda, más fino es el polvo de molienda. una proporción adecuada de molienda medias y un ajuste adecuado de la velocidad de rotación puede obtener un mejor efecto de rectificado. 1) Alto tasa de utilización de energía, ahorro de energía 2) Granularidad es ajustable ajustando el tiempo de molienda 3) Menos vibración, poco ruido 4) Simple estructura, fácil operación 5) Conoce requisitos de varios procesos, realizar una producción continua o intermitente 6) Tarro con chaqueta, fácil de controlar la temperatura de molienda 7) Personalizado el servicio está disponible. Se pueden seleccionar y pedir funciones especiales como sincronización, ajuste de velocidad, reciclaje, control de temperatura. 8) A variedad de tarros de molienda en diferentes materiales está disponible para cliente opción como acero inoxidable, cerámica de corindón, poliuretano, zirconia, etc. casos de aplicación de molino de bolas planetario principales parámetros del molino de bolas agitado N º de Modelo. girar la velocidad (rpm) volumen (L) capacidad de carga (L) fuente de alimentación (KW / V) frascos disponibles tamaño de alimentación (mm) granularidad de salida (µm) modo de control de velocidad categoría JM-1L 50-1400 1 0,35 0.37KW / 220V acero inoxidable nylon cerámica de alúmina pu circonita ágata PTFE ≤5 ≤1µm ajustador de velocidad de frecuencia escala de laboratorio JM-2L 50-1400 2 0,7 0.37KW / 220V ≤5 ≤1µm JM-3L 50-1400 3 1,05 0.37KW / 220V ≤5 ≤1µm JM-5L 60-560 5 1,75 0,75KW / 220V ≤5 ≤1µm ajustador de velocidad de frecuencia o ajuste de velocidad fija para comprador opción tipo pequeño JM-10L 60-560 10 3,5 1.5KW / 220V ≤10 ≤1µm JM-15L 60-380 15 5,25 2.2KW / 380V ≤10 ≤1µm JM-20L 60-380 20 7 2.2KW / 380V ≤10 ≤1µm tipo de luz JM-30L 60-310 30 10,5 3.0KW / 380V acero carbono acero inoxidable forro de nailon revestimiento de pu revestimiento de cerámica de alúmina PTFE transatlántico ≤10 ≤1µm JM-50L 60-140 50 17,5 4.0KW / 380V ≤10 ≤1µm JM-100L 60-140 100 35 7.5KW / 380V ≤20 ≤1µm tipo industrial JM-200L 60-110 200 70 11KW / 380V ≤20 ≤1µm JM-300L 60-110 300 100 15KW / 380V ≤20 ≤1µm JM-500L 60-90 500 170 18,5KW / 380V ≤20 ≤1µm JM-600L 60-90 600 200 22KW / 380V ≤20 ≤1µm además de la máquina de molino de bolas planetario, nuestra fábrica ofrece todo tipo de ollas de molino , como olla de molino de acero inoxidable, olla de molino de zirconia, olla de molino de alúmina, olla de molino de nylon, olla de molino de pu, olla de molino de tungsteno, olla de molino de metal duro y olla de molino de nailon templado, etc. Además, también proporcionamos bolas de molino de acero inoxidable, bolas de molino de zirconia , bolas de molino de alúmina, bolas de molino de pu, bolas de molino de acero al carbono, bolas de molino de tungsteno, etc. sugerencias para la combinación de soluciones sobre jarras de molino materiales Nosotros También puede proporcionar todo tipo de bolas de molino como bolas de acero inoxidable, bolas de zirconia, bolas de alúmina, bolas de pu, bolas de acero al carbono, bolas de tungsteno, bolas de ágata, bolas de metal duro, bolas de nitruro de silicio, bolas de acero de alta resistencia al desgaste, bolas de acero al manganeso, bolas de nailon, carburo cementado, cristal y otros materiales especiales de metales. sugerencias para la solución correspondiente sobre el medio de molienda & materiales fotos de accesorios & piezas de repuesto 1 estándar exportado paquete: interno anticolisión protección exterior exportacion caja de madera embalajes. 2 envío por expreso, por aire, por mar según clientes ' requisitos para encontrar la forma más adecuada. 3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará la pieza dañada gratis.

Tube Furnace
laboratorio de alta temperatura 1500-1500C horno de tubo rotatorio de doble zona

laboratorio de alta temperatura 1500-1500C horno de tubo rotatorio de doble zona parámetros técnicos detallados modelo 1500-1500-I 1500-1500-II poder 9KW 9KW tamaño del tubo dia 60 (DE) X1400 mm de diámetro 80 (DE) X1400 mm voltaje de suministro 380V 380V fase fase dual fase dual tubocorindón tubo: alta pureza AIO cerámica (incluida) 99,5% elemento de calefacciónprimera temperatura zona: varilla de carbono de silicio segunda temperatura zona: varilla de carbono de silicio velocidad de rotación del tubo del horno Con continuo motor de velocidad variable, la velocidad se puede ajustar entre ( 1-25 rpm ) fuerza de motor 40W El horno se puede inclinar en ángulo 0-30 grados tipo de impulso correa dentada y engranaje modo de control UAV instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1, 30 etapas programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se corta automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede los 1520 grados o el termopar está fundido, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. Encendido, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico de protección limitada).3, con 485 interfaz de comunicación (estándar cuando compra software) 4, con apagado función de protección, es decir, cuando la energía se enciende después de que se apaga la energía, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero la temperatura del horno aumenta de el momento de la falla de energía.5, el medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted necesita pagar extra por ele sustitución de instrumentos importados (opcional) FP93 instrume nt EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento (shimaden, jap an) material del horno 1. horno de curado de fibra policristalina de alúmina de alta pureza de alta calidad formado por filtración al vacío. 2. adoptar la tecnología japonesa para el moldeado. precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16ESEMIKRON La temperatura más alta en la primera y segunda zona de temperatura. 1500 ℃ temperatura nominal en la primera y segunda zona de temperatura 1400 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (se puede modificar como requerido) tasa recomendada de aumento de temperatura ≤10 ℃ / min par termoeléctrico tipo s en la primera zona de temperatura tipo s en la segunda región de temperatura longitud de la sección de calentamiento en la primera y segunda zona de temperatura 300 + 300 mm 300 + 300 mm longitud de temperatura constante 450 mm 450 mm 1 estándar exportado paquete: interno anticolisión protección exterior exportacion caja de madera embalajes. 2 envío por expreso, por aire, por mar según clientes ' requisitos para encontrar la forma más adecuada. 3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará la pieza dañada gratis.

3-1 Tape Wrapping Machine
Máquina de embalaje de cinta 3-1 para batería de polímero

Gerente de ventas: Andrea Correo electrónico: Andrea@tmaxlaboratory.com Wechat: 18250801164

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