Nombre y modelo del equipo

Instrumento de recubrimiento por magnetrón de plasma VTC-2RF

Parámetros básicosp

· Fuente de alimentación: CA 220 V 50 HZ

· Potencia: < 1800W

RF ppotencia ssuministro

· Potencia de entrada: 220V 3A

· Potencia de salida: 0-300W

· Frecuencia de salida: 13,56 MHZ

· Modo de enfriamiento: El modo de enfriamiento dentro del equipo es enfriamiento por aire

· Tamaño: 444 (L) *410 (W) *128 (H)

Cabezales de pulverización magnetrón

· Cabezal de pulverización catódica con magnetrón de 2 pulgadas (con capa intermedia enfriada por agua), conectado a la cámara de vacío con empalme rápido

· Requisitos de tamaño objetivo: Ï50* (0,1-5) mm de espesor

· El cabezal de pulverización catódica con magnetrón de 2 pulgadas puede soportar la potencia máxima de RF: 300 W

· El cabezal de pulverización catódica con magnetrón de 2 pulgadas puede soportar la potencia máxima de CC: 500 W

Chisporroteo chambra

· Tamaño de la cámara: Diámetro exterior Ï166* Diámetro interior Ï150* altura 250 mm, hecho de cuarzo de alta pureza

· Brida de sellado: diámetro de 174 mmï¼hecha de aluminio metálico, sellada con un anillo de sellado de caucho fluorado

· Se instala un deflector operado manualmente en la cubierta de la brida para la pulverización previa del objetivo, y se incluye una junta de manguito de Ï6.35 en ele cubierta de brida para conectar el tubo de admisión.

Una malla de acero inoxidable cubre toda la cámara de cuarzo para proteger el plasma

· Cámara de vacío: ï¼1.0Ã10-2 Torr (con bomba de vacío de paletas rotativas bipolar), ï¼5Ã10-5 Torr (vortex molecular pump)

· Si se requiere un vacío mayor, la cámara de vacío de acero inoxidable se puede personalizar (el grado de vacío puede alcanzar 5*10-6 torr o menos)

· La entrada de aire de la cavidad es una junta de doble manguito de acero inoxidable de Φ6,35 mm, que se puede conectar con el cilindro de gas a través de la tubería de PTFE, y el tamaño de la entrada de aire se controla mediante una válvula microrreguladora de precisión.

Muestra sstands

· La mesa de muestras se puede girar (para una producción de película más uniforme) y calentar

· Tamaño de la muestra: 50 mm de diámetro (se pueden colocar hasta 2 pulgadas de sustrato)

· Velocidad de rotación: 1-10 rpm (ajustable)

· La temperatura máxima de calentamiento de la mesa de muestra es 700 ℃ (uso a corto plazo, la temperatura constante no excede 1 hora) y la temperatura de uso a largo plazo es 500 ℃

· Precisión del control de temperatura: ±10 ℃

Unidad de visualización de vacío

· Modelo de vacuómetro: ZDZ-52T

· Rango de medición: 1,0Ã105Pa~1,0Ã10-1Pa

· Rango efectivo: 3,0Ã103Pa~1,0Ã100Pa

· Tubo de silicona: ZJ-52T/KF16

· Tamaño del panel: 96*96 mm

· La regulación del vacuómetro solo puede medir aire y nitrógeno, y otras ocasiones con una gran proporción de componentes gaseosos deben corregirse.

Sistema de vacío (opcional)

· La interfaz de vacío es la interfaz KF25

· Modelo de bomba de vacío: VRD-16

· Tasa de bombeo: 4,4 L/S

· Potencia del motor: 750 W

· Presión límite: 5Ã10-1Pa (sin carga)

Equipo de refrigeración por agua (opcional)

· Modelo: KJ-5000

· Corriente de trabajo: 1.4-2.1A

· Capacidad de refrigeración: 2361 Btu/h

· Tamaño: 55Ã28Ã43cm (largo à ancho à alto)

· Capacidad del tanque de agua: 6L

· Caudal de agua: 16 l/min

Película tespesor gauge (opcional)

· Se instala un medidor de espesor de película vibratorio de cuarzo de precisión en el instrumento para monitorear el espesor de la película en tiempo real con una resolución de 0,10 A

· Pantalla LED, pero también ingrese los datos relacionados con la película

Dimensión general

Tamaño del equipo: L 550 mm à W 550 m à H 1100 mm

Tamaño del hogar: L 600 mmà W 600mà H 600 mm

Peso

Aproximadamente 55 kg

Vida útil

1 año (sin incluir piezas de desgaste como anillos de sellado)

Precauciones

· La presión del aire en la cámara no deberá ser superior a 0,02 MPa (presión de aire relativa);

· Debido a la alta presión dentro del cilindro, se debe instalar una válvula reductora de presión en el cilindro cuando se inyecta gas en el tubo de cuarzo. Para garantizar la seguridad, se recomienda utilizar una presión inferior a 0,02 MPa. Se recomienda comprar una válvula reductora de presión de nuestra empresa, cuyo rango de medición es 0,01 MPa-0,1 MPa, que será más precisa y segura de usar.

· Para experimentos de calentamiento de muestras, no se recomienda cerrar la válvula de escape y la válvula de admisión en el extremo de la brida del tubo del horno. Si es necesario cerrar la válvula de aire para calentar la muestra, es necesario prestar siempre atención al indicador del manómetro. Si el indicador de presión es superior a 0,02 MPa, la válvula de alivio de aire debe abrirse inmediatamente para evitar accidentes (como rotura del tubo del horno, bridas que salen despedidas, etc.).

· No recomendamos a los clientes el uso de gases inflamables, explosivos y tóxicos. Si los clientes realmente necesitan utilizar gases inflamables, explosivos y tóxicos por razones tecnológicas, tomen ellos mismos las medidas pertinentes de protección y a prueba de explosiones. La empresa no se hace responsable de los problemas causados ​​por el uso de gases inflamables, explosivos y tóxicos.