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1600C PECVD horno con sistema de suministro de gas y sistema de vacío El PECVD El sistema consta de un horno de tubo, una cámara de vacío de cuarzo, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía por radiofrecuencia. utilizado principalmente para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas, grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como limpieza con plasma y grabado. El PECVD El sistema tiene las ventajas de una alta tasa de deposición de película, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad. parámetros técnicos detallados modelo TL1600-I poder 5KW tubo tamaño （OD） (mm) Alta pureza corindón tubo: 60 mm (tubo diámetro) se colocan dos tapones de horno a cada lado. El enchufe del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar. dimensión 1120X490X855 voltaje de suministro 220V fase fase única elemento de calefacción 1800 modelo de barra de molibdeno de silicio tipo de control de temperaturauso Yudian instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1. 30 segmentos programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se cortará automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o cuando la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico está limitado protegido). 3. Con 485 interfaz de comunicación (estándar con software opcional ) 4. tiene una función de protección contra cortes de energía, es decir, cuando el horno se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la energía está apagada. 5.La medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material de la cámara 1. El material del hogar está hecho de fibra de alúmina policristalina de alta calidad. 2. La superficie del horno interior está recubierta con 1800 importados grado de recubrimiento de alúmina de alta temperatura, que puede aumentar la emisividad y hacer que el campo de temperatura esté más equilibrado. válvulas y bridas precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16E SEMIKRON Máx. temperatura 1600 ℃ temperatura nominal 1550 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (Puede modificarse según sea necesario) tasa de calentamiento recomendada ≤10 ℃ / min modelo de termopar tipo b longitud de la sección de calentamiento 300 mm temperatura ambiente de la superficie ≤45 ℃ Sistema de vacío VS-0.1 Sistema de vacío VS-0.1 El sistema de vacío puede dibujar el grado de vacío en el tubo del horno de tubo to0.1Pa (y equipado con indicador de vacío de resistencia pantalla). Con pantalla led verde digital pantalla. adoptar VRD16 bomba aspiradora VRD16 termino tecnico especificación VRD-16 bombeo velocidadm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5,2 L / s limitar la presión parcial - sin gas lastre （Pa） 4x10-2 limitar la presión total - sin gas lastre （Pa） 4x10-1 limitación de la presión total - gas lastre （Pa） 8x10-1 fuente de alimentación monofásico / tres fasemotor potencia （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrada / Salida connectionDN KF25 capacidad de aceite 0,9-1,5 lmotor velocidad （rpm） 50Hz 1440 rpm sistema de suministro de gas medidor de flujo de gas sistema de suministro de gasparámetros técnicos: l neumático canal: 6 l caudal neumático control: utilizar medidor de flujo másico.l armario tamaño: 600X600X600mm l Con pantalla LEDl parámetros técnicos de masa caudalímetro: interfaz Φ6 monitor LED temperatura ambiente de trabajo 5 ~ 45 ℃ controlador de flujo Se utiliza un controlador de flujo de protones, consulte la parte posterior tubo de acero inoxidable Φ6 fuera de x Φ4 dentro mesa de vacío de presión -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / div válvula de parada Φ6 control de flujo PLC control inteligenteparámetros técnicos de flujo másico Controlador: producto descripción: tipo común, circuito analógico producto detallado descripción: tipo ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: rango 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (puede elegir cualquier rango) por favor confirme cuando tu haces el pedido exactitud ± 1% F.S lineal 0,5% F.S Repetibilidad ± 0,2% F.S tiempo de respuesta 1 s caída de presión del aire

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--70 ℃ ~ 150 ℃ 225L cámara de prueba de humedad de temperatura de laboratorio El sistema de prueba térmica se construye según el requisito de prueba térmica UN 38.3.4.2 de Iones de litio Requisitos de prueba de baterías de un manual de pruebas y criterios. una ventana de observación está montada en el panel frontal para monitorear el estado en tiempo real de las baterías de recarga. El sistema de drenaje podría recoger fácilmente líquidos inesperados. principales características 1.La La caja de prueba de temperatura y humedad constantes se compone principalmente de panel de control, panel de distribución, capa de aislamiento, ventilador de suministro de aire, calentador, humidificador y unidad de refrigeracion. Las principales especificaciones se pueden dividir en 6 tamaños estándar y 10 especificaciones en diferentes condiciones. 2.La El controlador se puede conectar a la computadora a través de la interfaz lan. los usuarios pueden diseñar programas en la pantalla de la computadora, recopilar datos y registros de prueba, llamar a la ejecución del programa, interruptor de máquina de control remoto y otras funciones. 3.La uso de multi-wing Ventilador de impulsión de aire fuerte circulación de aire, para evitar ángulos muertos, de modo que la distribución de la temperatura y humedad interior sea uniforme. 4.Completa dispositivo de protección de seguridad, si ocurren condiciones anormales, la pantalla del controlador mostrará automáticamente el estado de falla, cortará el interruptor de encendido y proporcionará métodos de solución de problemas. especificación modelo disponible modelo TMAX-80 (A ~ F) TMAX-150 (A ~ F) TMAX-225 (A ~ F) TMAX-408 (A ~ F) TMAX-800 (A ~ F) TMAX-1000 (A ~ F) dimensión interna WxHxD (mm) 400x500x400 500x600x500 600x750x500 600x850x800 1000x1000x800 1000x1000x1000 dimensión interna WxHxD (mm) 950x1650x950 1050x1750x1050 1200x1900x1150 1200x1950x1350 1600x2000x1450 1600x2100x1450 TemperatureRange baja Temperatura (A: 25 ° C B: 0 ° C C: -20 ° C D: -40 ° C E: -60 ° C F: -70 ° C) alta temperatura 150 ° C El rango de temperatura se puede personalizar. HumidityRange 20% ~ 98% R.H. (10% -98% R.H. / 5% -98% R.H , es una condición opcional especial, necesita Deshumidificador) analítica Precisión / uniformidad de distribución de temperatura y humedad 0,1 ° C; 0,1% R.H / ± 2,0 ° C; ± 3,0% R.H. A. Pruebas parámetro rango de temperatura -70 ℃ ～ +150 ℃ (refrigerado por aire tipo) El rango de temperatura se puede personalizar de acuerdo con sus necesidades reales. rango de humedad 20% -98% rh (el rango de distribución es el siguiente) La velocidad de enfriamiento (sin carga) sobre 1 ℃ / min La velocidad de calentamiento (sin carga) aproximadamente 3 ℃ / min estabilidad de temperatura ± 0,5 ℃ precisión analítica de la temperatura 0,01 ℃ precisión del control de la humedad ± 2% H.R. uniformidad de temperatura ± 2,0 ℃ uniformidad de humedad ≤ ± 3% H.R. （ +2 、 -3% RH ） ruido de trabajo un nivel de sonido es menor que 75 db (A) (medido en una habitación insonorizada con 25 ° C de temperatura ambiente y menos eco; medido el valor medio de 8 puntos mediante una ponderación; medido el nivel de cada punto de prueba está a 1 metro de la fuente de ruido y el altura es de 1 metro desde el suelo). B.Machine estructura material de cajas interiores y exterioressus # 304 fuente de luz de la caja exterior lámpara de alto brillo diseño estructural de estratosfera Evitación eficaz de la condensación en la parte superior de la caja. ventana de observaciónuso de muestras de observación (W * L 28 * 35 cm) Anti-sudor diseño de ventanasdispositivo de calentamiento eléctrico para evitar la condensación de agua y gas (40 W) agujeros de pruebase puede utilizar para conectar un cable de alimentación de prueba externo y una señal (diámetro 50 mm) polea de la máquinalas poleas son movibles y posicionadas con pernos fuertes (200Kg / rueda) capa de aislamiento espuma de poliuretano rígida (sus ventajas son: 1. alta eficiencia y ahorro de energía, sin costuras después del llenado, fuerte unión después del curado. 2. sísmica y compresiva resistencia, sin agrietamiento, sin descomposición, sin caída después de la solidificación. 3. tiene ultra-bajo conductividad térmica de temperatura, resistencia a la intemperie y conservación del calor. 4. aislamiento de alta eficiencia, aislamiento acústico, impermeable y resistente a la humedad después del curado. 5. el rendimiento a prueba de agua es bueno, porque el orificio de espuma está cerrado, la tasa de sellado es del 95% y el agua de lluvia no penetrará a través del orificio. rejilla interiorrejillas ajustables móviles y dos rejillas de banda de acero inoxidable (5,0 cm por rejilla) puerta de caja Doble canal aislamiento térmico y gas estanco para aislar eficazmente las fugas de temperatura externa C.Safety sistema de protección Fuga / Oleada proteccion FUSIBLE. RC protección electrónica contra sobretensiones para disyuntores de fuga interno auto-automático dispositivo de detección y protección del controlador 1. detección de transmisión de datos entre microcomputadoras 2. Temperatura / Humedad Sensor → rotura de circuito o cortocircuito (+ / - OVER) 3. capa 1 alto / bajo temperatura sobrecalentamiento protección → ajustes para el control de funcionamiento de alta y baja temperatura sobretemperatura protecciondetección y control de fallas Interfaz (Automático Dispositivo de detección y protección de fallas externas ) 1. alta temperatura Sobretemperatura protección de la segunda Capa → Electrónica alta temperatura sobretemperatura dispositivo de protección 2. capa 3 alta temperatura Sobretemperatura Protección → Alto temperatura sobretemperatura dispositivo de protección 3. protección de corte de agua incineración → Humedad agua corte agua de protección y calor eléctrico protección contra incineración de aire 4. compresor protección → Refrigerante protección de presión y protección contra sobrecarga. 5. protección extendida Dispositivo → Reserva dos conjuntos de dispositivos de protección de expansión de entrada de detección de fallas para uso. falla protección anormal corte el suministro de energía de control y la indicación de motivo de falla y señal de salida de alarma Ocurre una falla anormal. indicador activo de escasez de agua solicitud de iniciativa por falta de agua en la máquina. protección dinámica de alta y baja temperatura ajuste dinámico del valor de protección de alta y baja temperatura con condiciones de ajuste. protección de temperatura normal después del apagado, el área de prueba de la máquina se protegerá automáticamente al bajar a la temperatura normal. D.Refrigeración sistema modo de control 1. El sistema de control ajusta automáticamente el funcionamiento del frigorífico de acuerdo con las condiciones de prueba, para que el equipo esté en el mejor ahorro de energía condición. 2. La capacidad de refrigeración del evaporador es conmutada por la válvula solenoide accionada por el sistema de control. 3. circuito de refrigeración del aire de retorno del compresor. métodos de trabajoEl primer orden se adopta la compresión para 0 ~ 40 ℃ modelo. La refrigeración en cascada binaria se adopta a 40 ~ 70 ℃. compresor de refrigeración El francés importado original Taikang compresor de rotor de bajo ruido totalmente cerrado. refrigerante R404a / R23 (ozono índice de agotamiento es 0, R23 se utiliza en el sistema de refrigeración en cascada). condensador Refrigerado por aire: intercambiador de calor de tubos con aletas. Refrigerado por agua: carcasa y tubo intercambiador de calor. Evaporador intercambiador de calor de tubos con aletas (también utilizado como deshumidificador). intercambiador de calor de placasintercambiador de calor de placas soldadas de acero inoxidable (cascada sistema de refrigeración usado). dispositivo de estrangulamientoválvula de expansión + capilar. imágenes del producto 1 estándar exportado paquete: interno anticolisión protección exterior exportacion caja de madera embalajes. 2 envío por expreso, por aire, por mar según clientes ' requisitos para encontrar la forma más adecuada. 3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará la pieza dañada gratis.

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