Conjunto de bomba de vacío

(Requiere aceite) Bomba de vacío rotativa + Conjunto de bomba turbo molecular (sin aceite)

Velocidad de bombeo rotativo

50 Hz: 16 m³/h (4,4 L/s) / 60 Hz: 19,2 m/h (5,2 L/s)

Velocidad de bombeo molecular

300 L/s

Límite de vacío

5x10^-5Pa

Presión de trabajo

0,5-5 Pa

Tiempo de aspiración

10 min(10^-3Pa)

Medida de vacío

Rango de medición desde la atmósfera hasta 10^-6Pa

Control de gases

Controlador de flujo de gas

Tamaño de la cámara

Ï260*200 mm (alto) Metal

Fuente objetivo del magnetrón

Tamaño del objetivo: 50*3 mm (Cu) / Fuente del objetivo: Sustancia magnética débil / Materiales

Método de operación

Manual de instrucciones

Peso/Tamaño

100 kg/610 mm de largo*420 mm de ancho*490 mm de alto

Fuente de alimentación

CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz

Consumo de energía

<3000W

Método de enfriamiento

Enfriamiento por aire (bomba) + enfriamiento por agua (objetivo de pulverización)

Garantía

Garantía limitada de un año con soporte de producto de por vida