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Número de artículo.:
TMAX-650MHcertificado :
CE Certifiedgarantía :
1 Year limited warranty with lifetime supportRecubridor de recubrimiento por pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío CC o RF utilizado para fabricar células solares de perovskita
Introducción
Alto vacío Recubrimiento por pulverización catódica de iones magnetrón es ideal y está diseñado para la ciencia de materiales y la preparación de muestras. Es ampliamente utilizado por la mayoría de las universidades e institutos de investigación científica de ciencia e ingeniería de materiales para recubrir metales, cerámicas, semiconductores, aislantes u otros tipos de preparación de materiales de membranas.
El recubridor por pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío proporciona el entorno de pulverización catódica más estable y logra las condiciones experimentales básicas de la pulverización catódica con magnetrón en un período de tiempo muy corto. Proporciona CC/RF dos tipos de opciones de potencia de pulverización catódica que permiten pulverizar sustancias conductoras o no conductoras en la muestra y mejora el rendimiento de la deposición física de vapor (PVD). También es excelente para el tratamiento y recubrimiento de superficies. Es fácil de operar y fácil de usar.
La bomba de vacío y el enfriador están incluidos.
Parámetro
Vacío pbombeo set |
(Oil requerido) rrotativo vacuum pump+(oil libre) turbo moleculan pbomba |
Rotatorio pbombeo svelocidad |
50 Hz: 16 m³/h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2m³/h (5,2 L/s) |
Molecular pbombeo svelocidad |
300 l/s |
Vacío llimitar |
5x10-5Pa |
Trabajando ppresión |
0,5-5 Pa |
Aspirar tiyo |
10 min(10-3Pa) |
Vacío mmedida |
Rango de medición desde la atmósfera hasta 1*10Pa |
Control de gas |
Gas fbajo ccontrolador |
Tamaño de la cámaratamaño |
Ï260*200 mm (alto) mmetal |
Magnetrón tobjetivo sfuente |
Tamaño objetivo Ï 50*3 mm(Cu)/tfuente objetivo: wfácil mmagnético ssustancia /mmateriales |
Operación mmétodo |
Manual de instruccionesl |
Peso/tallatalla |
100 kg/610 mm de largo x 420 mm de ancho x 490 mm de alto |
Energía ssuministro |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
Energía cconsumo |
<3000W |
Enfriamiento mmétodo |
Aire cenfriamiento(pbomba)+ water cenfriamiento (sputtering tobjetivo) |
Garantía |
Garantía limitada de un año con soporte de producto de por vidat |
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