laboratorio CVD sistema con 1500-1500C horno de tubo rotatorio de doble zona El CVD sistema consta de sistema de suministro de gas + horno de tubo + sistema de vacío, y la temperatura máxima puede alcanzar 1200 grados, 1400 grados, 1600 grados, y 1700 grados. La zona de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura dual, una zona de tres temperaturas, etc. El vacío final puede alcanzar 10-3Pa. El sistema de suministro de gas puede ser másico caudalímetro o flotador caudalímetro para regulación de caudal. El número de canales de mezcla puede ser 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales. parámetros técnicos detallados modelo 1500-1500-I 1500-1500-II poder 9KW 9KW tamaño del tubo dia 60 (DE) X1400 mm de diámetro 80 (DE) X1400 mm voltaje de suministro 380V 380V fase fase dual fase dual tubocorindón tubo: alta pureza AIO cerámica (incluida) 99,5% elemento de calefacción primera temperatura zona: silicio segunda temperatura de la varilla de carbono zona: varilla de carbono de silicio velocidad de rotación del tubo del horno Con continuo motor de velocidad variable, la velocidad se puede ajustar entre (1-25 RPM) fuerza de motor 40W El horno se puede inclinar en ángulo 0-30 grados tipo de impulso correa dentada y engranaje modo de control UAV instrumento de control de temperatura del programa (estándar) 1, 30 etapas programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. Con sobrecalentamiento protección, el circuito de calefacción del horno eléctrico se corta automáticamente cuando la temperatura es exceso de temperatura o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede 1520 grados o el termopar está quemado, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. Encendido, la luz de encendido en el panel está apagada, la luz de apagado está encendida y el horno eléctrico de protección limitada).3, con 485 interfaz de comunicación (estándar cuando compra software) 4, con apagado función de protección, es decir, cuando la energía se enciende después de que se apaga, el programa no se inicia desde la temperatura inicial, pero la temperatura del horno aumenta de el momento de la falla de energía.5, el medidor tiene la función de temperatura autoajuste (usted debe pagar más por el reemplazo de instrumentos importados, opcional) FP93 instrumento EUROTHERM instrumento de pantalla táctil instrumento(shimaden, Japón) material del horno 1. horno de curado de fibra policristalina de alúmina de alta pureza de alta calidad formado por filtración al vacío. 2. adoptar la tecnología japonesa para el moldeado. precisión de control + / - 1 ℃ desencadenar Fase desplazada desencadenar aparato eléctrico Zhejiang chint controlado por silicio 106 / 16ESEMIKRON La temperatura más alta en la primera y segunda zona de temperatura. 1500 ℃ temperatura nominal en la primera y segunda zona de temperatura 1400 ℃ velocidad de calentamiento ≤20 ℃ / Min (se puede modificar como requerido) tasa recomendada de aumento de temperatura ≤10 ℃ / min par termoeléctrico s typein la primera zona de temperatura s typein la segunda región de temperatura longitud de la sección de calentamiento en la primera y segunda zona de temperatura 300 + 300 mm 300 + 300 mm longitud de temperatura constante 450 mm 450 mm Gx-3 tres canales suministro de aire (mixto aire) sistema 1.1. El gas sale del cilindro, se despresuriza a través de una válvula reductora de presión, pasa por el PTFE tubo a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego pasa a través del medidor de flujo másico para controlar el flujo de gas, y luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y luego entra en la entrada del horno. 1.2. un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas, y el disco indicador del manómetro y el protón medidor de flujo controlador están instalados en el mismo panel. 1.3. cada línea de gas tiene un cierre de alta presión válvula para seguridad. 1.4. La ruta del gas adopta una alta precisión medidor de flujo másico de gas, y el interior de la ruta del gas está completamente hecho de tubería de acero inoxidable, que tiene buena resistencia a la corrosión. 1.5. todas las uniones de la caja están conectadas por casquillos de acero inoxidable, que tienen buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión. 2. parámetros técnicos: neumático canal: 3 flujo de gas control: medidor de flujo másico.armario dimensiones: 600X600X600mm masa caudalímetro parámetros técnicos: Interfaz: Φ6 Pantalla: LEDambiente de trabajo temperatura: 5 ~ 45 ° C flujo controlador: parámetros del controlador de flujo de protones, vuelva a consultaracero inoxidable tubo: Φ6 fuera de x Φ4 presión de vacío mesa: -0,1 ± 0,15 MPa, 0,01 MPa / división parada válvula: Φ6 flujo control: PLC control inteligente 3. masa caudalímetro parámetros técnicos: producto Nombre: controlador de flujo másico descripción del producto : tipo normal, circuito analógico producto detalles: Circuito analógico ordinario, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de bloquear.principales indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (puede elegir el rango arbitrariamente) • Precisión: ± 1% F.S • Lineal: 0,5% F.S • Repetibilidad: ± 0,2% F.S • respuesta tiempo: 1 s • presión de aire caída: